本標準規(guī)定了痕量分析用氣體的深度純化技術。經純化后氣體的目標組分含量的體積分數(shù)低于0.01×10-6，壓力為0.1 MPa～18 MPa，流量為0.1 L/min～100 L/min。?
本標準適用于儀表校準用零點氣、氣相色譜分析所用的載氣和標準氣體的平衡氣。本標準適用的氣體為氧氣、氫氣、氮氣、氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣。