本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了濺射深度剖析中測量濺射深度的準(zhǔn)則。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于結(jié)合離子轟擊剝離部分固體樣品的表面化學(xué)分析技術(shù),通常濺射深度可達(dá)幾微米。