本標準規(guī)定了為保證半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施與用于生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的設(shè)備能一起可靠運行的電磁兼容性(EMC)要求。
本標準適用于生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的設(shè)施和設(shè)備,這些設(shè)施和設(shè)備涵蓋所有的設(shè)施警報、安全、通信與控制系統(tǒng)、工藝設(shè)備、測量設(shè)備、自動化設(shè)備以及信息技術(shù)設(shè)備。
本標準不適用于集成電路的封裝與功能測試所采用的設(shè)備和設(shè)施,也不適用于可能在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的靜電。