本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了非本征半導(dǎo)體材料導(dǎo)電類型的測試方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅、鍺非本征半導(dǎo)體材料導(dǎo)電類型的測試，其他非本征半導(dǎo)體材料可參照本標(biāo)準(zhǔn)測試。本標(biāo)準(zhǔn)方法能保證對(duì)均勻的同一導(dǎo)電類型的材料測得可靠結(jié)果；對(duì)于導(dǎo)電類型不均勻的材料，可在其表面上測出不同導(dǎo)電類型區(qū)域。
本標(biāo)準(zhǔn)不適用于分層結(jié)構(gòu)材料（如外延片）導(dǎo)電類型的測試。