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光學(xué)和光子學(xué) 微透鏡陣列 第2部分：波前像差的測試方法

標 準 號： GB/T 41869.2-2022
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 西安西谷微電子有限責(zé)任公司、浙江偉星光學(xué)有限公司、上海瑞立柯信息技術(shù)有限公司 等
發(fā)布日期： 2022-10-12
實施日期： 2023-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2023年01月04日
內(nèi)容摘要

本文件描述了微透鏡陣列中微透鏡波前像差測試的測試裝置及設(shè)備、測試前準備、測試原理及測試程序等內(nèi)容。
本文件適用于在共同基底的內(nèi)部或一個或多個表面上形成的由非常小的透鏡組成的微透鏡陣列的波前像差測試。

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