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本規(guī)范規(guī)定了砷化鎵拋光片亞損傷層的X射線雙晶衍射試驗方法。本規(guī)范適用于經(jīng)過化學、機械單面和雙面拋光的砷化鎵拋光片亞損傷層的定性測量。