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本標準規(guī)定了真空鍍膜設備的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸和貯存等要求。 本標準適用于壓力在10-5 Pa~10-3 Pa范圍的真空蒸發(fā)類、濺射類、離子鍍類真空鍍膜設備。