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微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 基于拉曼光譜法的微結(jié)構(gòu)表面應(yīng)力測試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 34899-2017
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心
發(fā)布日期： 2017-11-01
實(shí)施日期： 2018-05-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2018年04月15日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了拉曼光譜法測定微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)結(jié)構(gòu)表面殘余應(yīng)力、相對靜態(tài)應(yīng)力、相對動態(tài)應(yīng)力的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)結(jié)構(gòu)表面殘余應(yīng)力、相對靜態(tài)應(yīng)力、相對動態(tài)應(yīng)力的拉曼光譜法測試。?

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