本標準規(guī)定了基于光學干涉顯微鏡獲取MEMS微結構表面形貌進行面內長度測量的方法。
本標準適用于表面反射率不低于4%，寬深比不低于1:10，且使用光學干涉顯微鏡能夠獲取形貌的MENS微結構。
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