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本文件提供了宇航用元器件結構分析的一般流程和方法,給出了樣品、分析試驗流程、結構單元分解和結構要素識別方法、結構判別依據等需考慮的信息。 本文件適用于半導體集成電路、半導體分立器件、光電器件、電阻器、電容器、電連接器、繼電器、開關、熔斷器、石英晶體、聲表器件、濾波器、射頻元件等類別元器件的結構分析工作,其他類別元器件參照執(zhí)行