本文件規(guī)定了光切顯微鏡的分類、基本參數(shù)和技術(shù)要求，描述了相應(yīng)的試驗方法，規(guī)定了檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸及貯存。
本文件適用于采用光切原理測量表面粗糙度、幅度參數(shù)輪廓最大高度（Rz）和輪廓單元的平均高度（Rc）的光切顯微鏡的制造。