本標準規(guī)定了4H晶型和6H晶型碳化硅單晶拋光片的微管密度的無損檢測方法。
本標準適用于4H晶型和6H晶型碳化硅單晶拋光片經單面拋光或雙面拋光后、微管的徑向尺寸在一微米至幾十微米范圍內的微管密度的測量。
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