本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片邊緣輪廓（包含切口）的檢驗方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于檢驗倒角硅片的邊緣輪廓（包含切口），砷化鎵等其他材料晶片邊緣輪廓的檢驗可參照本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。