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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了光學(xué)零部件面形偏差的術(shù)語和定義、公差及檢驗方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于使用光學(xué)樣板的等厚干涉方法及干涉儀方法檢驗光學(xué)零部件的面形偏差。