本文件規(guī)定了氧化銦鋅靶材的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸、貯存及隨行文件和訂貨單內容。
本文件適用于以氧化銦粉末、氧化鋅粉末為原料，以常壓燒結工藝生產的氧化銦鋅靶材。
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