泛半導(dǎo)體用尾氣處理設(shè)備分解移除效率的測(cè)試方法
標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): T/CCGA 90004-2023
發(fā)布單位: 中國(guó)工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)
起草單位: 埃地沃茲貿(mào)易(上海)有限公司、上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院、臺(tái)積電(中國(guó)) 有限公司、中國(guó)電子氣體生產(chǎn)與利用百人會(huì)
發(fā)布日期: 2024-12-12
實(shí)施日期: 2024-12-12